瑞士VAT真空閘閥板96603-01

1. 基礎(chǔ)信息

• 原廠零件號(hào)：96603-01

• 適用閥門(mén)型號(hào)：VAT 96600系列高真空閘板閥

• 材質(zhì)：不銹鋼316L（電解拋光EP級(jí)）

• 表面處理：Ra≤0.1μm（鏡面拋光）

2. 核心參數(shù)

3. 結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

• 雙面密封設(shè)計(jì)：

• 主密封面：錐形金屬密封（銅或不銹鋼）

• 次級(jí)密封：可選彈性體密封（如VITON®）

• 導(dǎo)向系統(tǒng)：

• 精密直線導(dǎo)軌（摩擦系數(shù)<0.001）

• 驅(qū)動(dòng)接口：

• 標(biāo)準(zhǔn)適配VAT氣動(dòng)執(zhí)行器（如96100系列）

4. 兼容閥門(mén)型號(hào)

5. 安裝與維護(hù)

• 安裝步驟：

1. 清潔閥腔（使用無(wú)塵布+高純酒精）

2. 預(yù)裝密封圈（需專用安裝夾具）

3. 閥板插入后手動(dòng)測(cè)試滑動(dòng)阻力（應(yīng)≤5N）

• 扭矩要求：

• 法蘭螺栓扭矩：20~25 Nm（ISO-KF160）

6. 使用壽命指標(biāo)

7. 磨損檢測(cè)方法

• 光學(xué)檢測(cè)：

• 使用白光干涉儀測(cè)量密封面劃痕（深度≤0.5μm為安全）

• 性能測(cè)試：

• 氦質(zhì)譜檢漏（閥板閉合狀態(tài)下≤1×10?? mbar·L/s）

8. 替代方案對(duì)比

該閥板需配合 VAT 229310系列密封圈 使用。對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備，建議每2年或10?次循環(huán)強(qiáng)制更換。定制版本（如鍍鋁氮化硅涂層）交貨期需額外增加8周。

瑞士VAT真空閘閥板96603-01