瑞士VAT真空閥59024-GE01-0003

產(chǎn)品簡介

瑞士VAT真空閥59024-GE01-0003
型號解析（VAT命名規(guī)則）
代碼段含義
59024系列：高真空角閥
GE01法蘭類型：ISO-KF40
0003配置代碼：帶氣動執(zhí)行器

更新時間：2025-07-02

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

瀏覽次數(shù)：326

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產(chǎn)品分類

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瑞士VAT

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詳細介紹

品牌	其他品牌	應(yīng)用領(lǐng)域	化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT真空閥59024-GE01-0003

1. 型號解析（VAT命名規(guī)則）

代碼段	含義
59024	系列：高真空角閥
GE01	法蘭類型：ISO-KF40
0003	配置代碼：帶氣動執(zhí)行器

2. 核心參數(shù)

參數(shù)	規(guī)格
真空范圍	10?? ~ 1000 mbar
泄漏率	≤1×10?? mbar·L/s（氦檢）
法蘭標(biāo)準(zhǔn)	ISO-KF40（DN40）
閥體材質(zhì)	不銹鋼316L（EP拋光）
密封材料	氟橡膠（FKM）/可選全金屬密封
驅(qū)動方式	氣動（工作壓力4~6 bar）
響應(yīng)時間	≤0.5秒（開/關(guān)）
溫度范圍	-20℃~150℃（標(biāo)準(zhǔn)型）

3. 結(jié)構(gòu)特點

超高真空設(shè)計：

金屬波紋管密封（零泄漏）
閥板采用錐面密封（10?? mbar級密封）

氣動執(zhí)行器：

雙作用氣缸（需配電磁閥控制）
帶機械位置指示器

4. 典型應(yīng)用

半導(dǎo)體設(shè)備：

晶圓傳輸腔體隔離
CVD/PVD工藝腔

科研裝置：

同步輻射光束線
粒子加速器真空系統(tǒng)

5. 安裝要求

法蘭安裝：

扭矩限制：10 Nm（ISO-KF40卡箍）
需使用無氧銅密封圈（P/N: VAT-CU40）

氣路連接：

驅(qū)動氣口：G1/8"（建議使用氬氣吹掃）

6. 電氣接口（需配電磁閥）

信號	要求
開閥信號	24V DC（驅(qū)動電磁閥）
關(guān)閥信號	彈簧復(fù)位（斷電自動關(guān)閥）

7. 維護要點

項目	周期	操作
密封圈更換	2年或10?次循環(huán)	需專用夾具拆卸
波紋管檢查	1年	氦質(zhì)譜儀檢測
驅(qū)動氣缸潤滑	6個月	使用PFE真空脂

8. 替代型號對比

品牌/型號	差異點
VAT 59024-GE01-0004	電動執(zhí)行器版
Pfeiffer VAT 58500	直通閥，流量更大
NorCal UHV-40	價格低20%，泄漏率略高

該型號標(biāo)準(zhǔn)交貨期為8-12周。如需超高溫度版（300℃）或無磁版本，需額外增加6周定制周期。建議配套使用VAT 52X系列電磁閥組實現(xiàn)自動控制。

瑞士VAT真空閥59024-GE01-0003

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